單晶硅棒是通過直拉法(CZ法)或區(qū)熔法(FZ法)制備的高純度硅晶體材料,具有完美的原子排列結(jié)構(gòu)。這種圓柱形晶錠的直徑通常在150-300mm之間(6-12英寸),長度可達(dá)2米以上,是半導(dǎo)體和光伏產(chǎn)業(yè)的核心原材料。需要重點(diǎn)關(guān)注的是,其晶格缺陷少于百萬分之一,特別是氧含量控制在5×101? atoms/cm3以下,這種極高的純度確保了優(yōu)異的電學(xué)性能。
在制造過程中,多晶硅原料在石英坩堝中熔化后,通過精密控制的溫度梯度(誤差±0.1℃)和旋轉(zhuǎn)速度(5-20rpm)緩慢提拉形成單晶結(jié)構(gòu)。所得硅棒的電阻率范圍涵蓋0.001-100Ω·cm(可摻雜硼或磷),能夠滿足不同電子器件的需求。目前主流規(guī)格包括Φ200mm(8英寸)和Φ300mm(12英寸),最新研發(fā)的450mm(18英寸)硅棒正在產(chǎn)業(yè)化突破階段。
單晶硅棒的主要應(yīng)用集中在兩個(gè)領(lǐng)域:在半導(dǎo)體行業(yè)經(jīng)過切片、拋光后制成晶圓(厚度150-775μm),用于制造CPU、存儲(chǔ)器等集成電路;在光伏領(lǐng)域則加工成156×156mm規(guī)格的硅片(厚度180-200μm),最終組裝成太陽能電池組件。值得注意的是,光伏級(jí)單晶硅棒通常采用改良西門子法提純,純度達(dá)到6N(99.9999%)即可,而電子級(jí)則要求11N(99.999999999%)以上純度。
隨著技術(shù)的進(jìn)步,單晶硅棒的生長速度已提升至1.2-1.8mm/min(較十年前提高30%),同時(shí)單位能耗降低至45kWh/kg以下。最新研發(fā)的連續(xù)加料技術(shù)(CCz)能實(shí)現(xiàn)72小時(shí)不間斷生長,單爐產(chǎn)量突破800kg,這些創(chuàng)新顯著降低了半導(dǎo)體和光伏產(chǎn)品的生產(chǎn)成本。未來,隨著大尺寸、低缺陷硅棒制備技術(shù)的突破,其在高性能計(jì)算和高效光伏領(lǐng)域的應(yīng)用將更加廣泛。